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射頻掃膠機(jī)PT-20-HF

PT-20-HF是一款中型等離子去膠機(jī),配置豐富且真空腔體里面可分層，適合8寸晶圓及以下大多數(shù)生產(chǎn)場景

設(shè)備優(yōu)點(diǎn)
? 任何材質(zhì)、形狀、尺寸都可以處理
? 高效均勻的處理效果
? 自主研發(fā)的操作系統(tǒng)，簡潔智能
? 處理氣體多為氧氣、氬氣、氮?dú)狻⑺姆?、氫氣或混合氣體
? 較低的處理溫度，不存在熱損傷和熱氧化問題
? 使用成本低、耗損小
? 安裝與維護(hù)簡便快捷

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產(chǎn)品詳情

功能介紹：表面清洗和活化

　　等離子體其中包括原子、分子、離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)原子、活化的分子及自由基，這些粒子的能量和活性很高，其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵，在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng)，從而有些化學(xué)鍵被打開后結(jié)合上氧原子等高活性的物質(zhì)，使得材料表面親水性得到極大提高，同時對材料表面的油污等有機(jī)大分子新的化學(xué)反應(yīng)，生成氣態(tài)小分子，例如二氧化碳，水氣等氣態(tài)物質(zhì)被真空泵抽走，從而達(dá)到對材料表面分子級別的清洗。

　　在粘接/bonding/印刷/噴漆/鍍膜/封裝等工序時讓產(chǎn)品可靠性更高，良品率更好。

設(shè)備基本參數(shù)(聯(lián)系我們了解更多詳細(xì)資料)

型號	PT-20-HF
整機(jī)尺寸（mm）	785(W)×800(D)×1800(H)
重量（Kg）	180
真空腔體	W260mm；D300mm；H260mm
托盤	W210mm；D255mm
射頻電源	輸出頻率	13.56MHz
	最大功率	300W / 500W / 1KW
	負(fù)載阻抗	50Ω
真空測量	量程	1×10^-2～1×10⁵
工藝氣路	2路工藝氣體管道	MFC質(zhì)量流量計
控制系統(tǒng)	西門子PLC+MCGS觸摸屏
軟件功能	手動模式和自動模式
真空泵	可選油泵或干泵
外部電源	220V 或 380V；50/60Hz
其他說明	設(shè)備配置可根據(jù)要求定制